반도체 공정에 쓰이는 가스 품질을 국내에서 객관적으로 평가할 수 있는 기반이 마련됐다. 한국표준과학연구원(원장 이호성)은 반도체 공정에 쓰이는 고순도 가스 15종 순도분석기술과 시험절차를 확립하고, 측정 정확성을 확인하는 인증표준물질 6종을 개발했다고 6일 밝혔다. 그동안 업계에서는 기존 공급업체가 발급한 자체 성적서, 사용 실적이 사실상 품질보증 역할을 했다. 그러나 최근 공급망 재편으로 국산 제품이나 신규 공급처의 제품 도입을 검토해야 하는