반도체 공정에 쓰이는 가스 품질을 국내에서 객관적으로 평가할 수 있는 기반이 마련됐다. 한국표준과학연구원(원장 이호성)은 반도체 공정에 쓰이는 고순도 가스 15종 순도분석기술과 시험절차를 확립하고, 측정 정확성을 확인하는 인증표준물질 6종을 개발했다고 6일 밝혔다.