[지디넷코리아]반도체 부품 기업 동원파츠가 한국거래소에 코스닥 상장예비심사 신청서를 제출했다고 7일 밝혔다. 동원파츠는 반도체 제조 공정 중 식각·증착 과정에서 사용하는 샤워헤드와 챔버파츠를 제조하는 기업이다.