[지디넷코리아]산화물 반도체의 성능을 좌우하는 '산소 빈자리 결함' 작동 원리가 처음 밝혀졌다. 디스플레이·차세대 메모리용 소자 열처리와 박막 구조를 정하는 공정 설계에 영향을 미칠 전망이다.