[지디넷코리아]PSK(피에스케이)가 램리서치의 베벨 에처 특허 1건에 대해 추가로 무효 판단을 받았다. 해당 특허는 지난 8월 특허침해소송 변론기일에서 램리서치가 침해 주장을 철회한 특허다. 전체 분쟁에 미칠 영향은 미미하다. 베벨 에처는 웨이퍼 가장자리(베벨)에 형성된 불필요한 박막을 제거하는 장비다.