반도체 식각분쟁...월덱스 "상부전극-기판 관계 불분명" vs 램리서치 "비교발명과 달라"

[지디넷코리아]반도체 식각장비 상부 전극을 놓고 램리서치와 특허분쟁 중인 월덱스가 "(램리서치가 특허에서 기술한) 상부 전극과 기판 사이 상관관계가 불분명하다"고 주장했다. 청구항(권리범위) 내용이 명확하지 않아 특허성을 인정하기 어렵다는 주장이다. 램리서치는 월덱스가 특허 무효 증거로 제시한 비교발명과 자사 특허는 다르다고 맞섰다.