[지디넷코리아]세계 식각장비 1위 램리서치와 반도체 공정 에지 링 디자인·특허 분쟁 중인 비씨엔씨가 램리서치 디자인 2건 무효화에 재도전한다. 특허심판원은 지난 5월 램리서치의 디자인 2건이 유효하다고 판단한 바 있다. 6일 업계에 따르면 비씨엔씨는 램리서치의 '반도체 제조장치용 에지 링' 디자인 2건(등록번호 1026248·1026250)이 유효라고 판단한 지난 5월 특허심판원 결정(심결)에 불복하고, 지난 7월 하순과 이달 초순 해당 디자인 2건 심결에 대해 차례로 특허법원에 심결취소소송을 접수했다. 링은 식각장비 내부에 장착하는 실리콘 부품이다. 식각장비 내부에서 생성된 플라스마가 웨이퍼 바깥으로 퍼지지 않도록 물리적으로 가두는 역할을 한다. 링은 주로 내플라즈마·내열성이 우수한 쿼츠 재질을 사용한다. 비씨엔씨는 램리서치와 서울중앙지방법원에서 디자인침해소송도 진행 중이다. 원고는 램리서치, 피고는 비씨엔씨다. 해당 소송 판결은 다음주 나올 예정이다. 비씨엔씨가 이번에 특허법원에