중국 반도체 업체들이 첨단 노광장비 확보에 어려움을 겪는 사이 삼성전자와 TSMC, 인텔이 '슈퍼 을(乙)' ASML과 차세대 반도체 제조기술 선점에 속도를 내고 있다.
기존 극자외선(EUV)보다 더 미세한 회로를 그릴 수 있는 고개구율(H