Development and commercialization of a high-resolution reflection electron energy loss spectroscopy
혁신연구장비핵심기술개발및상용화 · 첨단연구장비 상용화_본과제
2026년
2710110763
과학기술정보통신부
과학기술사업화진흥원
한국표준과학연구원
박인용
8명
2026.07.01 ~ 2026.12.31
2026.07.01 ~ 2029.12.31
5억원
5.7억원
개발연구
출연연구소
대전광역시 유성구
전기/전자 > 광응용기기 > 달리 분류되지 않는 광응용기기
전자빔 단색화 모듈(MC) 적용 주사전자현미경(SEM)기반 고분해능 반사형 전자 에너지 손실 분광(REELS: Reflective electron energy loss spectroscopy) 장비 개발 및 상용화
... 9 eV, h-BN 6 eV), 비정질 탄소·그래핀 π 플라즈몬 비교- 공동연구개발기관 1 (HiKM)● 단색화 모듈·SEM column·REELS 분광기를 통합한 양산형 REELS 시스템 통합 및 평가● UHV 대응 5축 Piezo stage의 XY/Z 이동 정밀도·반복 재현성·드리프트 특성 평가● Glovebox-Load-lock-UHV 시료실 간 연속 이송이 가능한 대기 비노출·냉각 ...
... REELS 기반 분석을 통해 밴드갭, 플라즈몬, 포논, 분자 진동 등 다양한 전자 및 진동 정보를 동시에 획득할 수 있어, 기존 분석 장비로는 한계가 있었던 국소 물성 연구의 새로운 분석 ... 자산의 보호 및 안보 역량 강화- 국가 12대 전략 기술 분석의 필수 장비인 하전입자 빔 시스템의 핵심 기술을 내재화함으로써, 글로벌 공급망 위기 속에서도 흔들리지 않는 기술 자립화와 글로벌 ...