한국재료연구원연구운영비지원(주요사업비) · 소재혁신 플랫폼 구축
2026년
2710111773
과학기술정보통신부
국가과학기술연구회
한국재료연구원
김태훈
3명
2026.01.01 ~ 2026.12.31
2026.01.01 ~ 2028.12.31
1.8억원
1.8억원
응용연구
출연연구소
경상남도 창원시
화공 > 나노 화학공정기술 > 나노소재 합성기술
600W급 고출력 EUV 노광 공정용 펠리클 원천소재 개발을 위해, 공정-구조-물성 데이터 기반 AI 순차 실험 최적화를 통한 고투과성·고순도·고결정성 CNT 멤브레인 합성 및 후처리 기술 개발
- 에어로젤이 유도되지 않는 새로운 FCCVD 합성 조건 탐색- 합성 조건-구조-물성 데이터셋 초기 구축 및 상관모델 기반 AI 순차 실험 설계 프레임워크 수립- 배치 방식 CNT 멤브레인 장비 구축 및 합성 조건 확립- 멤브레인 트랜스퍼 기술 개발- 대면적 멤브레인 합성을 위한 장비 및 합성조건 확보- 고투과성·고결정성 달성을 위한 최적 조건 발굴- 초고온 ...
- 고출력 EUV 대응 펠리클 원천소재 확보: 기존 펠리클 소재의 내열·내환경 한계를 극복하고, CNT 멤브레인의 투과도, 결정성, 잔류촉매, 포어구조를 동시에 제어하는 원천기술을 확보함으로써 고출력 노광 환경에서의 적용 가능성을 제고함. - 이번 과제를 통해서 개발될 600W급 EUV 공정 뿐 아니라, 이후 1000W급 및 후속 공정에서도 후보 ...