Development of high-resolution 60GB/scan level large-capacity data real-time pattern generation and distortion error compensation system.
소재부품기술개발(R&D) · 패키지형
2026년
2410016331
산업통상부
한국산업기술기획평가원
에스디에이
임창민
14명
2026.01.01 ~ 2026.12.31
2024.07.01 ~ 2028.12.31
11.1억원
15.0억원
응용연구
중소기업
경기도 의왕시
전기/전자 > 디스플레이 > 디스플레이 제조장비
o 고해상도 60 GB/scan급 대용량 데이터 실시간 패턴생성 및 왜곡오차 보상 시스템 개발
o 데이터 해상도 0.25um, SCAN거리 550mm, 10GB/scan급 데이터 처리 기술 개발o 데이터해상도 0.25um,550mm scan용 스티칭처리기술개발o 평가 기술 개발o 데이터 해상도 0.25um, SCAN거리 550mm, 10GB/scan급 데이터 전송 기술 개발o 기존 기술 기반 AI 적용 특징 추출 및 학습화 DB 구축o 노광 결과 예...
o 초정밀 고속 미세 가공 노광기술의 장점은 미세 패턴의 설계의 유연성과 기간 단축이 가능하여 생산성 향상 측면에서 대폭적인 단축이 가능한 특성에 기인하여 대량생산 시 Cost Down, 수율 및 생산성 제고, 제품의 고품질 확보 가능 등에서 기존 노광 방식보다 유리함.o 반도체/OLED/LCD/PCB 분야에서 특히 반도체 제조라인에 투입되는 공정장비의 무...