Development of optical material component technology for the inspection equipment using 13.5 nm extreme ultraviolet
소재부품기술개발(R&D) · 투자연계형
2026년
2410017244
산업통상부
한국산업기술기획평가원
하스
임형봉
20명
2026.01.01 ~ 2026.12.31
2024.07.01 ~ 2028.12.31
17.1억원
20.5억원
개발연구
중소기업
강원특별자치도 강릉시
재료 > 세라믹재료 > 광/전자세라믹스
... 평가ㅇ 개발소재 미세구조 분석 기술 고도화[4차년도 목표]ㅇ Φ500x50T급 결정화 유리 30kg급 유리 용융 공정 설계 및 개발ㅇ Φ500x50T급 결정화 유리 30 kg 급 냉각성형 시스템 구축ㅇ Φ300~500급 유리 양산 열처리 공정 시스템 구축 및 평가 고도화ㅇ Φ150mm급 inspection Polishing 기술 확보ㅇ 균질열처리 공정 고도화ㅇ 열팽창계수 균질도 ...
ㅇ IP R&D 및 기초 문헌 분석 - 기술특허 동향 조사 및 차별화 전략 수립 - 선진사 조성 및 소재 제조 레서피 정보 수집 - 물성평가 방법 및 장비 정보 수집ㅇ 극저열팽창 광학 결정화 유리 제조 공정 개발 및 고도화 - 기초조성 확보 및 고도화 - 양산용 원소재 선정 및 최적화 - 혼합기 구축 및 최적화 및 10kg급 균질 유리 용융 공정 확보 ...
[활용방안]ㅇ 본 과제의 연구 개발대상인 극저열팽창 광학 결정화 유리 소재는 우수한 열팽창 안정성 및 내구성 등을 기반으로 EUV 반도체 검사장비용 반사경으로부터 노광장비용 광학 소재, 천문·우주용 반사경, 또는 고강도·고신뢰성 구조재료, Ring LASER gyroscope 부품, 고출력 레이저용 이득매질 모재 등의 소재·부품으로 활용이 가능ㅇ 전량 수...