Development of Reflective Coating Equipment and Process Technology for Extreme Ultraviolet Mirrors
소재부품기술개발(R&D) · 투자연계형
2026년
2410017715
산업통상부
한국산업기술기획평가원
(주)알파에이디티
황지섭
11명
2026.01.01 ~ 2026.12.31
2024.07.01 ~ 2028.12.31
12.6억원
17.7억원
개발연구
중소기업
경기도 화성시
전기/전자 > 반도체장비 > 증착장비
... 200mm급 반사경 코팅 장비 하드웨어 개선ㅇ 두께 제어 시뮬레이션 검증ㅇ 200mm급 반사경 코팅 공정 개발ㅇ 반사율 측정 셋업 평가 및 개선[2단계 2차년도 목표]ㅇ 200mm급 반사경 코팅 장비 소프트웨어 개선ㅇ 200mm급 반사경 코팅 공정 최적화ㅇ 2차원 두께 제어 기술 검증ㅇ 반사율 측정 셋업 최적화 및 평가ㅇ 200mm급 코팅 장비 평가 및 반사경 평가
[1단계 개발내용]ㅇ 극자외선 코팅장비 설계ㅇ 극자외선 코팅 장비 제작 및 시험ㅇ 200mm급 반사경 코팅 장비 제작 완료ㅇ 두께 제어 시뮬레이션ㅇ 반사 코팅 공정 개발ㅇ 50mm급 평면 반사경 코팅ㅇ 50mm급 곡면 반사경 코팅ㅇ 반사율 측정 셋업 설계ㅇ 반사율 측정 셋업 제작ㅇ 반사율 측정 셋업 완료ㅇ 개발 장비 평가 및 반사경 시제품 평가
[연구개발성과의 활용방안 및 기대효과]극자외선 반사경의 반도체 마스크 검사장비 적용고정밀 코팅 장비 및 공정 기술의 적용극자외선 반사 코팅 국내 기술 내재화 및 사업화를 통한 수입대체