물리 정보 기반 심층 생성 모델 융합 3차원 전자 타이코그래피 개발을 통한 단일 원자층 심도 분해능 돌파 연구

... 현대 재료과학에서 차세대 반도체 및 양자 소재의 물성 규명을 위해 3차원 원자분해능 이미징의 중요성이 급증하고 있다. 그러나 기존의 고전적인 토모그래피 방식은 다수의 고선량·고각도 틸트 데이터 확보가 필수적이어서, 전자빔에 훼손되기 쉽거나 무한히 평면 형태로 펼쳐진 얇은 시료인 2차원 물질 등에는 일반적인 적용이 불가능하다는 치명적인 단점이 있다. 이에 대한 대안으로 떠오른 단일 ...