Development of Laser Systems and Advanced Annealing Equipment for Semiconductor Applications
소재부품기술개발(R&D) · 패키지형
2026년
2410019796
산업통상부
한국산업기술기획평가원
이오테크닉스
백인철
1명
2026.07.01 ~ 2026.12.31
2026.07.01 ~ 2032.12.31
1,000만원
2,000만원
개발연구
중견기업
경기도 안양시
전기/전자 > 반도체장비 > 열처리장비
... 기반 핵심 요소기술 실험적 검증 수행 o 단위 기술별 정량 평가 기준 수립 및 성능 검증 데이터 확보 o 공정 적용 가능성 검토를 위한 기초 데이터 확보 (비가공 조건 기반)[3차년도 목표] ... Beam 어닐링 장비 성능 고도화 및 양산 적용 기술 확보[6차년도 목표] o 기존 장비 플랫폼 기반 시스템 구성 및 공정 환경 구축 o UV Area Beam 구현을 위한 광학계 설계 기반 ...
- 광학·기구·제어·공정 전 분야의 요구 성능 정의 및 요소기술 확보 전략 수립 ㆍMotorized Mask 구조 설계 ㆍBeam 확장 및 균일도 확보 기술 설계 ㆍbeam 성능 향상을 위한 Distortion, steepness 샹향 기술 설계 - 설비 제작 이전 단계에서 간이 환경 기반 핵심 요소기술 실험적 검증 수행 ㆍMoto...
o 레이저 광원 내재화 - 다이오드 펌프 나노초 오실레이터 제작 및 1um 파장대역의 펄스에너지 4J급 레이저 개발 - 파장변환 모듈 개발 및 다이오드 펌프 가시광 2J급/자외선 1J급의 레이저 개발 - 레이저 안정화 기술(에너지 안정성, 펄스 안정성 등) - 레이저 광원 내재화를 통한 제품 경쟁력 및 가격 경쟁력 확보 o 공정 대응...