Study on Induction Heating High-Efficient Power Conversion Circuit Design and High-Performance Temperature/Power Control Techniques for Semiconductor Fabrication Process
개인기초연구(과기정통부)(R&D) · 우수연구-핵심연구(기본연구B)
2026년
2710114617
과학기술정보통신부
한국연구재단
동국대학교산학협력단
정진우
6명
2026.09.01 ~ 2027.08.31
2026.09.01 ~ 2029.08.31
6,336만원
6,336만원
기초연구
대학
서울특별시 중구
전기/전자 > 중전기기 > 전력변환기기
(1) 1차년도: 범용/반도체 공정용 IH의 전력변환회로 토폴로지 및 온도/전력 제어 알고리즘 연구◆ 범용/반도체 공정용 IH 시스템 설계◆ H/W: DSP, Gate Driver, Sensor Circuit, PCS 설계◆ S/W: 전력/온도 제어기 설계◆ 온도 SSE ±2℃, 전력 SSE ±2%, 효율 95%, 온도 반응 속도 1℃/s 달성 (2) 2차년도: ...
... 고성능 제어 기법(SMC/MPC)을 적용한 반도체 공정용 온도 관측기 설계 및 데이터 축적■ Adaptive 보정 구조를 통해 출력 온도의 오차범위를 줄이는 Gain값을 자동으로 Tuning하는 시스템 구축(3분기)■ 1, 2분기에서 설계된 온도 관측기를 토대로 Sensorless 온도 제어기를 통합 적용■ 온도 제어 알고리즘의 온도 추정 정확도와 전력 및 온도 리플의 안정화를 확인■ 안정적인 ...
... 또한, Duty/Frequency/Burst Triple-Mode 고성능, 고정밀 온도 및 전력 제어 알고리즘을 설계하고, Duty Ratio가 고정된 상태에서 제어되던 범용 IH 시스템의 한계를 극복하여 광범위한 전력 Range에서 Current Spike를 감소시킬 수 있다. 더 나아가, Parameter Estimation 및 Load Detection 알고리즘을 고도화하고, ...