Development of an Explainable Vision-Language-Based AI Diagnostic Solution for Semiconductor Processes
스케일업기술사업화프로그램(R&D) · 스케일업기술사업화프로그램
2026년
2410019482
산업통상부
한국산업기술진흥원
다겸 주식회사
서원겸
5명
2026.04.01 ~ 2026.12.31
2026.04.01 ~ 2026.12.31
6,100만원
9,200만원
개발연구
중소기업
서울특별시 금천구
정보/통신 > 정보이론 > 인공지능
반도체 제조 공정에서 발생하는 비정형 이상을 실시간으로 탐지하고 그 원인을 자동으로 분석할 수 있는 AI-Native 반도체 공정 진단 플랫폼의 비즈니스 모델 수립 및 핵심 기술 개발을 최종 목표로 합니다.기술적 측면에서는 환경 변화에 강건한 반도체 특화 파운데이션 모델(S-FM)을 기반으로 합니다. 1단계 BM기획 기간에는 반도체 공정 이미지 및 설비 데...
본 연구개발은 반도체 제조 공정의 복잡도 증가에 따른 비정형 결함 탐지의 한계를 극복하기 위해, 환경 변화에 강건한 AI 파운데이션 모델과 도메인 지식을 결합한 비전-언어 모델(VLM) 기반의 설명 가능한 진단 솔루션을 개발하는 것을 골자로 합니다.1단계: BM기획 및 반도체 특화 파운데이션 모델(S-FM) 검증1단계에서는 미세 공정에서 발생하는 다양한 변...
... 기술을 앞세워 다품종 소량 생산 체제의 공정에서도 즉각적인 적용이 가능한 구독형(SaaS) 및 구축형 솔루션으로 시장을 공략할 계획입니다.중장기적으로는 글로벌 반도체 장비 제조사와 연계하여 소프트웨어 라이선싱 형태의 기술 수출을 추진하겠습니다. 본 과제 수행 과정에서 확보한 설명 가능한 AI(XAI) 기반 원천 특허와 도메인 특화 비전-언어 정렬 기술을 기반으로 기술적 진입 장벽을 구축하고, ...