Advanced High-Speed, High-Precision In-Line Mixing System Utilizing 6-Channel FCV-ULFM-Based Chemical Dynamic Injection (CDI) for Semiconductor Ultra-Fine Processes
중소기업기술혁신개발(R&D) · ★중소기업기술혁신개발사업(중소기업유망기술개발)
2026년
2420033167
중소벤처기업부
중소기업기술정보진흥원
(주)세미솔
박현철
6명
2026.07.01 ~ 2026.12.31
2026.07.01 ~ 2028.06.30
1.2억원
1.6억원
개발연구
중소기업
경기도 오산시
전기/전자 > 반도체장비 > 세정장비
... ULFM)를 통합하고, 동적 약액주입제어(Chemical Dynamic Injection. 이하 CDI)를 적용하여 설치 면적을 최소화하면서 초고속·고정밀 제어가 가능한 인라인 믹싱 시스템(In-line Mixing System, 이하 IMS) 고도화■ 정량적 목표 - 온도 제어 재현성 : ±0.5°C (기존 ±1°C 대비 50% 개선) - 유량 제어 및 재현성 : ±1% ...
■ 6채널 일체형 FCV 모듈 개발 : 6개의 유량 제어 밸브를 단일 매니폴드 블록에 집적화하여 Dead Volume을 최소화하고, 채널 간 간섭을 저감함으로써 고속·고정밀 유량 제어 기반을 확보■ ULFM 개발 : 초음파 센서와 신호처리부를 배관에 일체화하고, dTOF (Time-of-Flight) 25ps 이하의 초정밀 계측 기술을 적용하여 실시간 유량...
■ 경제적 측면 - 사업종료 후 3년차 누적 매출 100억원 매출 달성 - 고집적·소형화 모듈기반 제품경쟁력확보를 통한 해외 장비사 대비 가격 및 유지비 절감 효과■ 기술적 측면 - CDI 기반 정밀제어기술 확보 및 모듈 국산화를 통한 해외(HORIBA) 기술 의존 극복 - 일체형 구조 적용을 통한 누액 저감 및 공정 안정성 향상 - 초미세 공정 대응 고속...