Multi-Agent Framework for Recipe Optimization to Overcome the MobilityStability Trade-off in Oxide Semiconductors
개인기초연구(과기정통부)(R&D) · 우수연구-핵심연구(기본연구A)
2026년
2710114071
과학기술정보통신부
한국연구재단
아주대학교산학협력단
조성범
10명
2026.09.01 ~ 2027.08.31
2026.09.01 ~ 2027.08.31
4,560만원
4,560만원
기초연구
대학
경기도 수원시
전기/전자 > 반도체 소자·회로 > 반도체 재료
○ 본 과제의 최종 목표는 조성, 공정 조건, 문헌 근거를 통합적으로 해석하여 산화물 반도체의 이동도-안정성 trade-off를 완화할 수 있는 유망 레시피를 제안하는 critic-guided LLM 프레임워크를 구축하고, 그 타당성을 benchmark와 후보 검증을 통해 입증하는 것
○ 문헌 및 내부 데이터를 기반으로 산화물 반도체 레시피를 조성, 공정 조건, 물성, 문헌 근거 단위로 정규화하고 구조화○ RAG, step back prompting, multi hop 근거 추론을 결합하여 환각을 최소화하고, 생성 결과의 근거를 추적 가능한 레시피 표현 체계 구축○ 이동도 안정성 상충관계를 완화할 수 있는 outlier 조성 공정 조합을 탐색하고, ...
○ 거대언어모델 활용 연구에 대한 선행사례가 거의 없는 가운데 데이터베이스 및 코드 공개는 타 소재 분야 연구에 언어모델 확산에 크게 기여할 것○ 본 과제의 데이터베이스와 평가 체계는 ... sputtering, 용액공정 등 다양한 박막 소재 공정의 레시피 설계 문제로 확장 가능○ 구축된 플랫폼은 자연어 기반으로 되어 있어 비전문가도 쉽게 활용 가능하며, 실험 착수 전 후보군의 우선순위를 ...