Development of a 200C-class high-temperature valve for vacuum deposition compatible with chlorine-based metal precursors
중소기업기술혁신개발(R&D) · ★중소기업기술혁신개발사업(중소기업유망기술개발)
2026년
2420033097
중소벤처기업부
중소기업기술정보진흥원
(주)토르
지이권
7명
2026.07.01 ~ 2026.12.31
2026.07.01 ~ 2028.06.30
1.2억원
1.6억원
응용연구
중소기업
경기도 화성시
전기/전자 > 반도체장비 > 증착장비
○ 본 과제는 염소계 전구체(HfCl4 등))를 200°C 온도에서 장시간에 걸쳐서 전송하기 위한 빠른 구동, 일정한 유량(Cv), 장수명 등의 신뢰성 높은 고온 다이어프램 밸브의 개발과 사업화를 목표함 - 당사는 현재 120°C 온도용 다이어프램 밸브를 생산하여, 진공증착 장비 사용자에게 판매 중임 - 게이트 옥사이드 등으로 사용되는 HfO2의 고체 전구...
[1차년도]○ 당사 양산 저온용 밸브 대비 고온용 개발 밸브의 주요 개발 내용○ 반구형 다이어프램 구조 설계○ 엘지노이 소재의 열처리 조건별 특성 분석○ 200℃ 5,000만회 수명 확보용 반구형 다이어프램 설계○ 반구형 다이어프램 기반 Cv 향상 구조 설계○ 반구형 다이어프램 기반 12ms 응답 구조 설계○ 진공증착 공정 검증용 측정기 설계 및 제작○ 고...
... Research, TEL, 엠케이피 등의 국내외 진공증착 공정 및 소부장 업체와의 유기적 관계 유지를 통해 개발과 동시에 고객사 인증 추진 - 연구혁신센터 멤버인 KETI, 타대학 등과의 R&D시스템 구축하여 질적 기술 개발 추진 - 주기적인 고객사 Monitoring을 통해 고객사 Needs 적극 반영○ 과학/기술적 필요성 - 초고순도 진공증착 Valve 시스템 설계 및 구성 기술과 ...