Development of a Molten Metal and Hydrogen Reduction Process for Semiconductor F-gas Abatement and Fluorine Recovery
개인기초연구(과기정통부)(R&D) · 우수연구-세종과학펠로우십(복귀·유치트랙)
2026년
2710112335
과학기술정보통신부
한국연구재단
한국생산기술연구원
NGUYEN VAN QUYNH
1명
2026.09.01 ~ 2027.08.31
2026.09.01 ~ 2031.08.31
1.1억원
1.1억원
기초연구
출연연구소
충청남도 천안시
에너지/자원 > 온실가스 처리 > non-CO2 처리기술
- 본 연구의 최종 목표는 반도체 공정에서 발생하는 불소계 가스(F-gas)를 용융 금속 기반 반응으로 분해하고, 동시에 불소를 회수할 수 있는 기초 원천 기술을 확립하는 것이다. CF4, C2F6, SF6, NF3 등의 F-gas를 금속 플루오라이드로 전환한 후 수소 환원을 통해 금속을 재생하고 HF를 생성하는 2단계 순환 반응 개념의 과학적 타당성을 규...
... 확인한다.- 3차년도에는 용융 금속 분해 반응과 수소 환원 반응이 하나의 순환 반응 개념으로 작동 가능한지를 벤치 규모에서 검증한다. 분해 반응기와 환원 반응기로 구성된 순환 반응 개념 시스템을 구성하고, 단기 반복 실험을 통해 금속 재생, HF 생성, 플루오라이드 축적 거동을 확인한다.- 4차년도에는 반복 순환 반응계에서의 금속 재생 안정성, 반응 반복성, 선택성을 정밀하게 분석한다. ...
- 본 연구 성과는 반도체 공정에서 발생하는 CF4, C2F6, SF6, NF3 등의 F-gas 처리 기술 연구에 기초 자료로 활용될 수 있으며, 회수된 HF를 불소 화학 산업의 원료로 재활용할 수 있는 가능성을 제시한다. 이를 통해 탄소중립 및 자원순환과 연계된 연구 분야로의 확장도 기대된다.- 활용 방안으로는 연구 결과를 SCI 논문 및 학술대회 발표를...