Infrastructure Advancement: Advanced R&D integration service platform for highly functional nm-scale thinfilm nanomaterials
이공학학술연구기반구축(R&D) · 인프라 고도화 지원(기초과학연구역량강화사업)
2026년
2340059389
교육부
한국기초과학지원연구원
포항공과대학교
이병훈
17명
2026.03.01 ~ 2027.02.28
2024.06.01 ~ 2029.02.28
5억원
5억원
응용연구
대학
경상북도 포항시
전기/전자 > 반도체 소자·회로 > 반도체 재료
TMDC/그래핀/극막박소재등 초박막 신소재를 대면적기판상에 형성/ 전사하여 대구경웨이퍼상에서 기초연구, 단위소자 및 고집적연구를 지원할 수 있고, 선도연구그룹의 연구성과를 공유활용하는 새로운 형태의 공유협업형 연구지원인프라를 구축하고, 효율적인 운영 체계를 확립함으로써, 우리나라의 관련분야 학술연구수준을 획기적으로 제고하는 것을 목표로 함. 특히 개방적인 ...
... 이차원 초박막신소재 집적공정을 위해 추가되는 6인치공정장비들의 세부 스펙을 검토하고 최적의 장비를 구매한 후, 각 소재별 단위공정을 셋업함. ○활용시스템 구축 및 공유공정개발: ZEUS클라우드와 모아팹 시스템을 활용하는 사용지원 시스템을 구축하고, 국책사업을 통해 개발된 공정정보를 공유하는 협업체계를 도입하여, 장비공동활용의 성과를 극대화함. ○사용자교육: 장비오퍼레이터를 활용한 팹운영체계를 ...
○공유협업형 연구인프라 구축: 대면적 이차원소재 웨이퍼 제작, 대면적 그래핀 웨이퍼 제작 및 활용, 고성능/대면적 극박막반도체 공정등 개별연구실에서 수행하기어려운 연구를 지원하기 위한 고가의 특화공정장비들을 구축하고, 선도연구그룹의 공정개발 결과를 공유활용하는 국내 유일의 공유협업형 연구인프라 구축○효율적인 연구지원을 통한 실증수준 연구결과 도출: 기 구축...