NextGeneration AFM Measurement Mode & Optimized Solutions Development for Advanced Instruments
산업혁신인재성장지원(R&D) · 해외연계
2026년
2410019422
산업통상부
한국산업기술진흥원
파크시스템스
조상준
15명
2026.07.01 ~ 2027.04.30
2026.07.01 ~ 2028.12.31
4.8억원
6.9억원
개발연구
중견기업
경기도 과천시
전기/전자 > 반도체장비 > 측정/검사장비
Transitional Tapping AFM(TT-AFM)을 상용화하여, 연성·이질 재료에 특화된 차세대 측정 모드를 상용 수준으로 구현하고 반도체·첨단소재·바이오 분야에서 활용 가능한 최적화 솔루션을 구축
[연구개발 수행계획]ㅇ1차년도:TT-AFM의 물리 모델·신호 해석 알고리즘을 상용 소프트웨어에 통합하고, 기존 AFM 플랫폼에서 초경량 탭핑 구동 조건 및 기본 동작 안정성을 확보 ㅇ2차년도: 반도체(CMP, 하이브리드 본딩), 첨단 소재(폴리머·연성 코팅), 바이오(암세포·연조직) 시편을 대상으로 TT-AFM 통합 모드의 성능을 검증하고 응용 데모 데이터를 ...
본 과제의 성과는 TT-AFM mode를 상용화하여 반도체(CMP·하이브리드 본딩), 첨단소재(폴리머·연성 코팅), 바이오(세포·연조직) 분야에서 연성·이질 표면 특성의 고정밀·비파괴 계측 솔루션으로 즉시 활용되며, 제품 옵션·응용 패키지 형태로 매출 및 신규 시장 창출에 기여할 것임. 아울러 TT-AFM 기반 데이터와 알고리즘은 학술논문·특허·어플리케이션...