Development of a High-Speed and Low-Cost Electrical Variable Capacitor Impedance Matching System for Advanced Semiconductor Fabrication
이공학학술연구기반구축(R&D) · 글로컬R&D지원
2026년
2340052331
교육부
한국연구재단
전북대학교
임천용
12명
2026.03.01 ~ 2027.02.28
2025.09.01 ~ 2028.08.31
1.8억원
1.8억원
개발연구
대학
전북특별자치도 전주시
전기/전자 > 반도체장비 > 반도체장비용 핵심부품/제조장비
글로벌 TOP 수준 (기존 EVC 임피던스 정합 장치의 10배 빠른 정합속도, 1/30배 낮은 비용) 의 초고속·저비용 임피던스 정합 시스템 개발을 목표로 함
... EVC 임피던스 정합 시스템용 실시간 제어 시스템 개발: 부하측 실시간 전압 및 전류 측정 데이터 기반의 실시간 임피던스 계산 알고리즘 설계: 계산된 임피던스를 목표 임피던스로 추종하기 위한 ... programmable gae array, FPGA) 기반 제어 보드 설계 및 제작: 제작된 제어 플랫폼의 기능 검증 및 실시간 제어 시스템 평가 수행다. 3차년도 연구개발과제 세부 내용(1) 실시간 ...
1-1. 연구개발성과의 활용방안 가. 예상 연구개발성과: 초고속·저비용의 EVC 회로 개발 및 검증 : 최첨단 반도체 공정에 적용 가능한 글로벌 TOP 수준의 EVC 임피던스 정합 시스템 개발 : 빠르게 급변하는 플라즈마 부하를 신속하게 모사할 수 있는 EVC 부하 시뮬레이터 개발: EVC 임피던스 정합 시스템에 특화된 실시간 제어시스템 개발나. 연구개발성...