Development of a Spatial Optical Information Processing-Based 1um Line-Scanning AOI System for Total 2D/3D Inspection of Glass Substrate Cracks and Fan-Out PLP
반도체첨단패키징선도기술개발사업(R&D) · 기술자립형첨단패키징기술개발
2026년
2410018523
산업통상부
한국산업기술기획평가원
(주)큐빅셀
김태근
12명
2026.04.01 ~ 2026.12.31
2026.04.01 ~ 2029.12.31
11억원
13.2억원
개발연구
중소기업
서울특별시 광진구
전기/전자 > 반도체장비 > 측정/검사장비
ㅇ 1um 분해능 라인 스캐닝 방식의 공간 광정보처리 기술 기반 유리기판 크랙 및 Fan-out PLP 2D/3D 전수 외관 검사용 장비 개발
[1차년도][주관연구개발기관 : 큐빅셀]ㅇ 공간 광정보처리 기술 기반의 광학 모듈 제작 및 장비 설계ㅇ 광학 모듈 제어 및 신호처리 SW 개발ㅇ 검사 장비 통합 제어 SW 및 고속 처리 ... 설계ㅇ 유리기판과 FC-BGA 시료 특성 조사 및 요구 사항 정의[공동연구개발기관1 : 구미전자정보기술원]ㅇ Synthetic Aperture(SA)기반 공간 광정보처리 광학 시스템 설계ㅇ Synthetic ...
[연구개발성과의 활용계획]ㅇ 예상되는 연구개발 주요 핵심 기술의 성과 - 라인 스캐닝 방식의 스펙클 잡음 없는 공간 광정보처리 광학 모듈 제작 기술 - 대면적의 PLP 외관 검사가 가능한 검사 장비 제작 기술 - 광학 모듈 제어 및 신호 처리 SW 기술 / 장비 제어 통합 SW 기술 - 유리기판과 FC-BGA 외관 검사 솔루션 도출 및 AI 기반 ...