Broad-Range Doping Control Platform for 2D Semiconductors via Tailored MOCVD
이공학학술연구기반구축(R&D) · 박사과정생연구장려금지원
2026년
2340053050
교육부
한국연구재단
울산과학기술원
김성연
1명
2026.03.01 ~ 2027.02.28
2025.09.01 ~ 2027.08.31
2,500만원
2,500만원
기초연구
대학
울산광역시 울주군
전기/전자 > 반도체 소자·회로 > 반도체 재료
... 공정법을 개발하여 도핑농도를 광대역의 농도 범위에서 정밀하게 조절하고 공정 신뢰성이 있도록 통합 플랫폼을 구축하는 것이다. 이를 위해 다음과 같은 세부 연구개발내용을 계획하여 진행할 예정이다.첫째, ... 전 주기에 걸쳐 산업 및 학계에서 실질적으로 적용할 수 있는 도핑 농도 최적화 지침서 및 데이터베이스 형태로 제공된다. 이를 통해 반도체 산업의 소재 및 공정 혁신을 주도하고, 학술적으로도 ...
... 캐리어 수송 특성에 어떠한 영향을 미치는지 다차원적으로 분석한다. 또한 캐리어 농도 및 이동도 변화를 평가하고, FET 소자를 직접 제작하여 소자의 실제 작동 환경에서 전기적 성능 평가 및 데이터 수집을 실시한다. 이를 통해 도핑 농도와 외부 환경 조건을 동시에 고려한 전기적 특성의 최적화를 목표로 데이터베이스를 구축한다.셋째, 고농도 도핑 영역(Degenerate doping regime)에서는 ...
... 기반으로 한 차세대 소자 설계 및 제조 공정의 전 주기에서 실질적으로 활용될 수 있는 핵심 플랫폼이다.학술적·기술적 측면에서는 특히 희박-중간-고농도 전 도핑 농도 영역에서의 결함 생성 및 ... 현상을 정량적이고 체계적으로 분석한 농도-물성 지도를 통해 이후 연구자들이 재현 가능한 표준 데이터를 제공받을 수 있다. 이러한 데이터베이스는 향후 2D 소재를 이용한 다양한 전자소자 및 광전자 ...