Research on 3D measurement gigapixel near-infrared microscopy
이공학학술연구기반구축(R&D) · 지역대학우수과학자
2026년
2340052044
교육부
한국연구재단
경상국립대학교
최현
4명
2026.03.01 ~ 2027.02.28
2022.06.01 ~ 2028.05.31
5,000만원
5,000만원
개발연구
대학
경상남도 진주시
기계 > 나노/마이크로기계시스템 > 초소형 가공/조립/측정기술
[데이터이관 글자수 검증으로 인한 추가 텍스트 입력][데이터이관 글자수 검증
정량적 위상 정보 기반 두께 측정 기술 개발 - 정량적 위상 정보를 복원할 수 있는 FPM 알고리즘 개발 및 이를 활용한 두께 측정 알고리즘 개발 - 3차원 측정 기술과 ... 응용 분야 확대를 위해 추가적인 하드웨어, 알고리즘 개발 - 표면 측정용 반사형 시스템에 적합한 광량 확보를 위한 조명 시스템 개발 - 실리콘 웨이퍼의 내부 크랙 측정을 위한 ...
[데이터이관 글자수 검증으로 인한 추가 텍스트 입력][데이터이관 글자수 검증