Development of Raman-Ellipsometry hybrid metrology system for 3D memory nano patterns and local component distribution
차세대지능형반도체기술개발(설계·제조)(R&D) · 반도체제조공정정비
2026년
2410016504
산업통상부
한국산업기술기획평가원
(주)오로스테크놀로지
김상준
24명
2026.01.01 ~ 2026.12.31
2024.04.01 ~ 2026.12.31
16.8억원
22.1억원
개발연구
중소기업
경기도 화성시
전기/전자 > 계측기기 > 광 계측기
3D 메모리 나노패턴 및 국소성분분포 측정용 Raman-Ellipsometry 융합 측정장비 개발◇ Raman-Ellipsometry 융합 장치 개발- 대면적 및 공초점 Raman 광학계 개발 : 3파장 이상 다파장 레이저 활용 (가시광 레이저) : 라만 조사광 면적, 균일도 (900 ㎛2) : 조사 면적 제어범위 (10 ㎛2) : 다층 박막내 오...
... 시스템 개발 - 4개의 편광소자를 동기화시켜 안정적으로 동기화 회전 o 광원 및 광부품의 안정성 평가 - 광원, 편광자, 대물렌즈, 검출기 등의 안정성을 최적화 o SE 분석 소프트웨어 개발 및 최적화 - SE 계측 스펙트럼을 분석하기 위한 소프트웨어 o 공초점 Raman 광학계 개발 - 공초점 Raman 광학계 개발, 측정 기술 개발 및 테스트 o 4-편광소자 ...
- Raman-Ellipsometry 융합 계측 장치는 반도체 공정에서 계측을 위해 필요한 마이크로 스팟 빔 사이즈를 가지고 있으며, 고속, 고정밀 측정이 가능한 Raman 분광계와 기존 측정 성능 한계극복을 위한 4-편광소자 분광타원계 (SE)의 결합형태로서, 이러한 구성 사양으로 세계 일류 기업에서 판매하는 상용 장비 수준 또는 그 이상으로 본 기술개...