Development of 4-inch Gallium Oxide Epi-materials, Device/Packaging Processes, and Mass Production Technology based on High-Quality Interface Control for 3kV-class Power Modules
첨단소재원천기술성장지원(R&D) · 첨단소재원천기술성장지원
2026년
2710110747
과학기술정보통신부
한국연구재단
한국세라믹기술원
박지현
5명
2026.07.01 ~ 2026.12.31
2026.07.01 ~ 2028.12.31
7.5억원
8억원
응용연구
출연연구소
경상남도 진주시
전기/전자 > 반도체 소자·회로 > 화합물소자
3kV 급 고전력반도체용 고품질 산화갈륨 에피소재와 이를 활용한 4인치 웨이퍼 스케일 소자·패키징 공정 및 양산 기술 개발
[1차년도] : 산화갈륨 에피·단위 소자 원천 설계 및 HVPE 기술 이전 기초 데이터 확보- 에피 소재: 4인치급 MOCVD 에피 성장 시스템 설계, 기판 표면 Si 불순물 제거 에칭 및 (011) 배향 계면 제어- 소자 : 3kV급 전력반도체 구현용 단위 소자(1/2-finger) 설계·제작 및 SBD 종단 구조 해석- 데이터·시뮬레이션: 파이썬·COMSOL ...
... 일본 NCT, 미국 NRL 등이 독점하던 4인치 양산급 호모에피 및 3kV급 고전압 소자 공정 기술 국내 최초 국산화- 통합 공정체계 정립: 에피소재 ? 소자 ? 패키징을 단일 MOCVD 플랫폼으로 연결하는 일관 양산 체계 구축- 초고전압 영역 우위 확보: 분절된 연구 한계를 극복하고, SiC를 넘어선 3kV 이상 영역에서 한국형 기술 표준 제시2. 경제적 측면: 완결형 공급망(Value ...