Development of multi-purpose hologram 3D inspection equipment
반도체첨단산업기술개발 · 반도체공정장비기술개발
2026년
2410016480
산업통상부
한국산업기술기획평가원
(주)큐빅셀
김태근
19명
2026.01.01 ~ 2026.12.31
2024.04.01 ~ 2026.12.31
9.5억원
11.5억원
개발연구
중소기업
서울특별시 광진구
전기/전자 > 반도체장비 > 측정/검사장비
[최종목표]Advanced 2.5/3D Packaging을 위한 이종 소자간 ~1um 분해능, 실시간 계측이 가능한 다목적 홀로그램 3차원 검사 설비 개발[1차년도 목표] o FSH 기술 기반의 홀로그램 광학 모듈 시작품 제작 및 다목적 홀로그램 3차원 검사 설비 설계 o 홀로그램 정보 3D 가시화 모듈 설계 o 홀로그램 3D 검사 설비 평가를 위한 pa...
[1차년도 개발내용] o FSH 기반의 홀로그램 광학 모듈 시작품 제작 o 다목적 홀로그램 3차원 검사 설비 설계 o FSH 기술 기반의 홀로그램 신호 처리 기술 개발 o 홀로그램 정보 기반 다중 z-stack 이미지 생성 모듈 개발 o 다중 z-stack 이미지 기반 in-focus 이미지 생성 알고리즘 설계 o HBM(2.5, 3, 3e) 공정 중 in...
[연구개발성과의 활용계획 및 기대효과]1. 연구개발성과의 활용계획ㅇ 예상되는 연구 개발 주요 핵심 기술의 성과 - FSH기술 기반의 홀로그램 광학 모듈 기술 및 신호 처리 기술 - 다목적 홀로그램 검사 설비 제작 및 운용 SW기술 - AI기반의 홀로그램 신호 처리 기술 - 홀로그램 정보 3D가시화 SW기술 - 유효성 평가 및 양산성 검증을 위한 평가 시료 ...