Development of a chemical supply box that reduces usage more than 50% based on chemical reuse
소재부품기술개발(R&D) · 소재부품패키지형
2026년
2410020047
산업통상부
한국산업기술기획평가원
한국생산기술연구원
이천규
7명
2026.01.01 ~ 2026.12.31
2023.07.01 ~ 2026.12.31
5.1억원
5.5억원
개발연구
출연연구소
충청남도 천안시
인문학 > 기타 인문학 > 기타 지역종교(아프리카, 오세아니아 등)
Chemical 재사용(Recycle)을 통한 사용량 50% 이상 저감 CSB(Chemical Supply Box) 개발 : 인산(H3PO4)을 다량으로 사용하는 세정 공정에서 나오는 폐액을 정제하여, 재순환 및 재사용 할 수 있는 인산 기반 폐수 정제 플랫폼 및 이에 해당하는 미립자 계수 센서 모듈, 필터 모듈, 농도계 모듈 및 보상 제어 소프트웨어
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... 확보- 국내 반도체 제조 공정 Chemical 농도 측정 대응- 반도체 공정용 제품 생산 시 파티클 분석 적용- 성분분석 기술 확보 및 적용- 비접촉식 Chemical 농도측정 모듈 및 데이터처리 S/W 개발[기대효과][과학·기술적 측면]- 친환경 습식 세정 장비 개발- Chemical 재사용 기술 기반의 반도체 공정 경쟁력 확보- 국내 기술로 인산 재활용 시스템 개발 - 반도체 ...