Development of ultrafast variable focus inspection tool for membrane surface defect inspection for EUV pellicle quality evaluation
차세대지능형반도체기술개발(설계·제조)(R&D) · 반도체제조공정정비
2026년
2410017299
산업통상부
한국산업기술기획평가원
주식회사 에스디옵틱스
조경일
22명
2026.01.01 ~ 2026.12.31
2023.04.01 ~ 2026.12.31
12억원
15.7억원
개발연구
중소기업
서울특별시 서초구
인문학 > 기타 인문학 > 기타 지역종교(아프리카, 오세아니아 등)
... 목표]ㅇ EUV 펠리클 검사용 시스템 설계ㅇ 무진동형 표준결함시편 제조[2차년도 목표]ㅇ EUV 펠리클 검사용 시스템 제작 및 최적화ㅇ 진동형 표준결함시편 제조[3차년도 목표]ㅇ EUV 펠리클 검사장비 설계 및 제작ㅇ 표준결함시편 기반 검사기 평가기술 개발[4차년도 목표]ㅇ 검사장비 최적화 및 시험평가ㅇ 검사기 구동 알고리즘 개발ㅇ 인공지능 기반 알고리즘 구현
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ㅇ EUV 펠리클 양산공정 개발 및 공정 품질 검증에 활용ㅇ 개발된 EUV 펠리클 검사장비 반도체 양산에 적용ㅇ 국내 제조 및 수입 EUV 펠리클 품질 강화에 활용ㅇ 차세대 마스크/펠리클용 차세대 검사기 신규 개발에 활용ㅇ kHz급 이상의 초고속 가변초점을 이용한 반도체 고속 검사기가 전무한 관계로 본 기술 개발을 통한 원천기술 확보 가능ㅇ EUV 펠리클향...