Development of a Localized 1 MHz Dual-Channel Independently Controlled Megasonic Generator for HBM Cleaning Processes to Prevent Damage to High Aspect Ratio (HAR) Structures and Fine Patterns
중소기업기술혁신개발(R&D) · ★중소기업기술혁신개발사업(중소기업유망기술개발)
2026년
2420033098
중소벤처기업부
중소기업기술정보진흥원
에프엔에스
최정우
6명
2026.07.01 ~ 2026.12.31
2026.07.01 ~ 2028.06.30
1.2억원
1.6억원
개발연구
중소기업
경기도 용인시
전기/전자 > 반도체장비 > 반도체장비용 핵심부품/제조장비
- HBM 및 선단공정용 Single Wafer Cleaner에 적용 가능한 1MHz 2채널 독립 제어형 메가소닉 제너레이터를 국산화하여, 고종횡비(HAR) 구조 및 미세 패턴 세정 공정에서 요구되는 고균일·저손상 세정 에너지 제어 기술을 확보하고자 함. - 채널당 50W급 정밀 출력 제어, 2채널 독립 구동, 트랜스듀서 부하 특성에 최적화된 고정형 정합 ...
... 통해 반사전력 5% 미만 유지 - 과전류, 비정상 부하, 진동자 과열, 비정상 반사 상태에 대응하는 경고-감쇠-안전 정지 기반 다단계 보호 로직 구현4) 장비 인터페이스 및 현장 적용형 시스템 통합 - EtherCAT, RS-232 기반 상위 제어기 연동, 상태 모니터링, 이상 이력 관리 기능 구현 - 수요처 장비와의 인터페이스 정합성 확보 및 공정 평가(PoC)를 통해 현장 ...
... 제어, 주파수 스위핑, 위상 제어, 부하 추종형 안정화 기술을 확보하여 고균일·저손상 세정 에너지 제어 핵심기술 내재화 - 향후 공정 맞춤형 전원 플랫폼 및 다채널 확장형 메가소닉 시스템으로의 기술 확장 가능성 확보2) 경제적 기대효과 - 외산 전원장치 대체를 통한 수입대체 효과 및 약 20% 수준의 원가 절감 가능성 확보 - 장비 판매, 유지보수, 기술지원, 공정 최적화 ...