Development of Localization of cryogenic etching equipment with Sidewall Rougness of 50nm or less
중소기업기술혁신개발(R&D) · ★중소기업기술혁신개발사업(중소기업유망기술개발)
2026년
2420033072
중소벤처기업부
중소기업기술정보진흥원
펨토사이언스
김준민
5명
2026.07.01 ~ 2026.12.31
2026.07.01 ~ 2028.06.30
1.2억원
1.6억원
개발연구
중소기업
경기도 화성시
재료 > 열/표면처리 > 에칭기술
연구용 극저온 식각장비(4인치) 국산화 개발① 고가의 ESC ESC (Electro-Static Chuck, 정전척) : 진공 챔버 안에서 웨이퍼를 정전기 힘으로 고정하여 미세공정 지원하는 장치 대신 Mechanical Clamping 적용② 경쟁자 극저온 식각 장비 가격기준, 30 ~ 40%의 가성비 장비 국산화③ Sidewall Roughness 50n...
... 식각 공정에서의 식각 균일도 및 재현성 검증● 공정 중 온도 변동이 식각 특성에 미치는 영향 분석● 장시간 공정 운전 안정성 평가● 기존 상온/저온 Chuck 대비 성능 비교 검증 ⑨ 시스템 통합 및 장비 적용 기술● LN₂ 공급 시스템과 장비 인터페이스 고도화● 장비 제어 시스템과의 연동 소프트웨어 고도화● 유지보수 및 운용 편의성 고려 설계● 장비 적용 시 설치·운영 가이드라인 ...
1) 활용계획-주관기관의 장비 수출역량 : 극저온 장비는 해외 수출 ITEM으로 유력-장비개발을 통한 매출 향상 : 2031년 극저온 식각 장비만으로 100억원 목표2) 과학/기술적 기대효과① (협력업체와 경험 공유) 협력업체와 win-win 신뢰감 향상② (기술 축적) ESC 대체 기술 확보 및 특허 등록③ (제어 기술 향상) 기존 식각장비 제어기술에 극...