SNU-Caltech Center for Innovative Semiconductor Metrology and Inspection
해외우수연구기관협력허브구축 · 탑-티어 연구기관 간 협력 플랫폼 구축 및 공동연구 지원사업(연구과제)
2026년
2710111003
과학기술정보통신부
한국연구재단
서울대학교
이승아
26명
2026.07.01 ~ 2026.12.31
2026.07.01 ~ 2035.12.31
11.5억원
11.9억원
개발연구
대학
서울특별시 관악구
전기/전자 > 반도체장비 > 측정/검사장비
서울대학교-Caltech을 중심으로 국내외 최우수 대학과 연구소를 연계한 탑티어 국제협력 플랫폼을 구축하고, 미래 반도체 제조·검사 분야에서 요구되는 초고해상도·초고속·고신뢰성·비파괴 계측 ... 양자·비선형광학 기반 초극한 센싱을 통합하는 방향으로 추진함. 공동 연구와 기술 개발에서 나아가 공동 데이터·프로토콜·실험 인프라·인력교류 체계를 갖춘 장기 협력 플랫폼을 구축하고, 국내외 산업체와 연구소 ...
1단계에서는 2026~2028년 동안 핵심 계측장비를 병행 구축하고, 데이터 및 알고리즘 통합 공유 체계를 구축함[테마 1] 에서는 LBNL의 SHARP 장비기반 GPU 가속 EUV ... 구현 및 반도체 내부 미세 결함 예측 구현 등 기존 광학 계측의 범위를 확장하려 함동시에 플랫폼 차원의 데이터 공유체계, 공동 워크숍, 인력교류, 표준 인터페이스를 정착시켜 2단계 통합 해석 ...
... 영상 계측, 물리기반 AI 역산, 양자 이미징·센싱 분야의 공동 논문, 특허, 공개 코드·데이터셋, 실험 프로토콜을 축적하여 계산영상, 역문제, AI for Science, 양자 이미징 등 ... 높임. 국제협력 측면에서는 축적된 공동연구·세미나·워크숍·인력교류를 바탕으로 지속가능한 글로벌 플랫폼으로 발전시키고, 국내 연구진이 세계 최고 수준의 계측·AI·양자 광학 그룹과 장기적으로 협력하여 ...