Design of Capacitor-Based Memory Array & CMOS integration for Neuromorphic Applications and Optimization of HfO/LaO Dielectrics
이공학학술연구기반구축(R&D) · 석사과정생연구장려금지원
2026년
2340065790
교육부
한국연구재단
경북대학교
김익환
1명
2026.09.01 ~ 2027.08.31
2026.09.01 ~ 2027.08.31
1,200만원
1,200만원
기초연구
대학
대구광역시 북구
전기/전자 > 반도체 소자·회로 > Si 소자
본 연구의 목표는 터널링 oxide가 없는 charge-trap 기반 memcapacitor 소자에서 전하 저장 및 기본 동작 특성을 규명하고, 이를 capacitor array 기반 NAND string 구조로 확장하여 고집적 메모리 동작 특성을 확보함. 특히 구조 확장에 따라 증가하는 parasitic capacitance 및 cell 간 간섭이 arr...
- 단일 CTF 소자, capacitor array 기반 NAND string 구조 설계·제작 및 특성 분석? 터널링 oxide가 없는 단일 CTF 소자의 stack 구조를 설계하고 blocking oxide 및 charge trapping layer의 재료·두께 조건을 split하여 공정 flow 수립, mask layout 설계 및 소자 제작 진행함.?...
1) 연구결과의 활용방안 및 기대효과 본 연구를 통해 터널링 oxide가 없는 단일 CTF 소자에서 capacitor array 및 NAND string 구조로 확장되는 charge-trap 기반 memcapacitor의 설계 및 동작 특성을 체계적으로 확보할 수 있을 것으로 기대됨. 특히 구조 확장에 따른 전하 저장 특성, 다중 상태 구현 가능성, 배열 ...