Development of OCD Metrology System for 300 mm Wafer with Machine Learning and 20 um Spot
PIM인공지능반도체핵심기술개발(R&D)(산업통상부) · PIM인공지능반도체핵심기술개발
2026년
2410017090
산업통상부
한국산업기술기획평가원
(주)오로스테크놀로지
김상준
24명
2026.01.01 ~ 2026.12.31
2022.04.01 ~ 2027.12.31
7억원
10.1억원
개발연구
중소기업
경기도 화성시
전기/전자 > 계측기기 > 광 계측기
... 개발 o DL 알고리즘 1차 개발 o RCWA 알고리즘 1차 개발 o 뮬러 행렬 분광 타원계(Mueller Matrix SE) 구성 및 기초 [2차년도 목표] o 이중 회전 동기화 시스템 개발 o 온도 안정성 평가 o DL 알고리즘 2차 개발 o RCWA 알고리즘 2차 개발 o 뮬러 행렬 분광 타원계 측정 알고리즘 개발[3차년도 목표] o 모듈화 설계 및 제작 ...
... o 뮬러 행렬 분광 타원계 성능 개선 - 넓은 파장 대역에서의 위상 변화량 분석. - 파장에 따른 빔 사이즈 분석 및 개선 연구. o 고정밀 스테이지와 EFEM을 갖춘 시스템 개발 - 본 기술개발에서 개발되는 시제품은 마이크로 스팟 분광 타원계 모듈 뿐만 아니라, EFEM(Equipment Front End Module)와 능동 진동 제어(Active Vibration ...
... 일조하고 관련 검사장비의 수입대체 및 수출을 통하여 국가 경제 발전에 기여함. 또한, 반도체 검사장비의 H/W와 S/W, 알고리즘을 해외 선진사에 의존하기 때문에 발생하는 반도체 회로 정보의 유출을 방지함으로써 국내 반도체의 구조설계 등 정보 보안성을 높이고, 반도체 산업의 우위를 유지하는데 기여할 것임.- 반도체 장비는 매우 높은 기술 수준을 요구하기 때문에, 관련한 전문 ...