Development of a Machine Learning-Based Composite Gas Emission Control Technology and Integrated Scrubber Module for Diverse Semiconductor Processes
소재부품기술개발(R&D) · 패키지형
2026년
2410017609
산업통상부
한국산업기술기획평가원
(주)에코에이블
류선태
15명
2026.01.01 ~ 2026.12.31
2024.09.01 ~ 2028.12.31
16.3억원
20.5억원
개발연구
중소기업
서울특별시 강남구
전기/전자 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
... : NF3 99% 및 CF4 98% 이상 처리 * 온실가스 사용량 절감율 : NF3 기준 10% 이상 절감 * 통합 모듈 운전 에너지 사용량 저감율 : 35% 이상 * 시뮬레이션 데이터 활용 복합가스 예측 정확도 : 98% 이상 * Wafer 단위 인터락 기술을 통한 결함율 개선 : 20% 이상 * 메인 공정 챔버 PM 주기 개선율 : 30% 이상
... 평가 제품 개발 및 신뢰성 지표 사전 조사 및 방법론 개발ㅇ스크러버 기본 물리 모델 구현 및 통합, 운전 지표 조건 시뮬레이션 및 머신러팅 알고리즘 개발을 위한 프레임 워크 개발ㅇ공정 데이터를 기반으로 한 인터락 제반 시스템 구축ㅇ스크러버 이상상태 예측을 위한 알고리즘 개발 및 시뮬레이션·실데이터 기반 예측 모델 비교 검토ㅇ스크러버 전후단 복합가스 데이터 확보를 위한 모니터링 유닛 구성ㅇ파티클 ...
... 폐가스 측정을 위한 모니터링 유닛 개발 및 공정 적용형 입자상 물질 측정 등 공정 제어 핵심 데이터 확보 - 처리 효율 측정기술 고도화 : 처리 효율 측정기술은 국내에서 시행되고 있는 배출권거래제의 ... 모니터링할 수 있는 상용화급 기술 개발 - 인공지능 기반 공정 최적화 및 예측 기술 고도화를 통해 빅데이터 기반 스크러버 적응형 3D 입자 시뮬레이션 엔진 개발로 공정 변화에 대한 예측 정확도 향상 ...