Development of a Heavy-Duty, Adaptive Gripper Solution for Robotic Automation of the Manufacturing and Inspection Processes of Semiconductor Etching Equipment (Silicon Electrodes)
창업성장기술개발(R&D) · 창업성장기술개발사업(TIPS)
2026년
2420034817
중소벤처기업부
중소기업기술정보진흥원
마치바이오닉스
김기훈
6명
2026.10.01 ~ 2026.12.31
2026.10.01 ~ 2028.09.30
1.2억원
1.6억원
개발연구
중소기업
경상북도 포항시
전기/전자 > 반도체장비 > 반도체장비용 핵심부품/제조장비
반도체 식각용 장비(실리콘 전극)의 제조·검사 공정을 로봇으로 자동화하기 위한 고중량·적응형 그리퍼 Solution을 개발하는 것을 최종 목표로 한다. 기존 상용 그리퍼로는 불가능했던 직경 280~420mm, 두께 3~30mm, 최대 5kg급 디스크형 실리콘 전극의 측면(Lateral) 파지를 무센서·무교체 방식으로 구현하며, 상·하면 손상 없이 파지·운반...
... Gripper Control Platform 개발: 시편 형상 정보로부터 안정 파지점을 추출하는 데이터셋·알고리즘, 시편-가공기 오정렬 인식·보상 제어 알고리즘, 다기종 로봇 통합을 위한 TCP/IP ... Demonstration 기술을 개발한다. 최종적으로 HW(그리퍼 모듈+선형 구동부)와 SW(제어 플랫폼)를 통합하고, 실물 파지 검증 및 반도체 식각공정 현장 PoC(1·2차 실증)를 통해 성능지표를 ...
개발 성과물은 '고중량·적응형 그리퍼 Solution'(그리퍼 모듈+선형 구동부+Smart Control Platform)으로 제품화하여 3단계 시장 전략으로 사업화한다. ①(초기) 반도체 식각공정 실리콘 전극 제조·검사 자동화 니치 시장 선점(PoC→초도 공급계약 전환)②(중기) 조선·자동차·철강 산업(HD현대중공업·현대모비스·포스코 등) 현장 작업 핸들...