Development of Fluorine-Free, Highly Transparent and Low-CTE Chemically Amplified Photosensitive Sulfone Polyimide (PSPI) Core Materials for Advanced Semiconductor Packaging
개인기초연구(과기정통부)(R&D) · 우수연구-핵심연구(기본연구A)
2026년
2710114122
과학기술정보통신부
한국연구재단
순천향대학교
조남철
2명
2026.09.01 ~ 2027.08.31
2026.09.01 ~ 2031.08.31
4,477만원
4,477만원
개발연구
대학
충청남도 아산시
화학 > 재료화학 > 고분자재료화학
... 요구되는 광학적·열적·치수 안정성을 동시에 확보하고자 함. 또한 하이드록시기(-OH)를 포함하는 반응성 고분자 구조를 도입하고, 광산발생제(PAG) 및 열 가교제를 조합한 화학증폭형 감광 시스템을 구축하여 i-line(365 nm) 노광 및 TMAH 수용액 현상 조건에서 10 μm 이상의 두꺼운 필름에서도 고해상도 패터닝이 가능한 포토리소그래피 공정을 확립하고자 함. 구체적으로 노광 ...
... 안정성을 확보하고, 10 GHz 대역에서 유전율(Dk)과 유전손실(Df)을 측정하여 고주파 반도체 패키징용 절연막으로서의 적용 가능성을 검토함.3차년도에는 화학증폭형 PSPI 감광 시스템과 고해상도 포토리소그래피 공정을 최적화함. 최적화된 베이스 수지에 광산발생제(PAG)와 열 가교제를 배합하고, i-line(365 nm) 노광 및 2.38 wt% TMAH 현상 조건을 ...
... 한계였던 전하 이동 복합체(CTC) 형성을 유해한 불소계 치환기 없이 억제하는 혁신적인 분자 설계 원천 기술을 확보하고, 나아가 화학증폭형(Chemical amplification) 광식각 시스템을 결합하여 두께 10 μm 이상의 막에서도 선폭 8 μm 이하의 초미세 패터닝과 저온 경화에 의한 저수축률(< 10%)을 동시에 달성함으로써, 반도체 소재 분야에서 학술적 우위 및 강력한 ...