Wide bandgap oxide heterostructure epitaxial thin films for real-time DUV image sensor array
이공학학술연구기반구축(R&D) · 기본연구B(포용형)
2026년
2340063925
교육부
한국연구재단
서울대학교
박용조
4명
2026.09.01 ~ 2027.02.28
2026.09.01 ~ 2029.08.31
3,000만원
3,000만원
기초연구
대학
서울특별시 관악구
재료 > 세라믹재료 > 단결정
... 구조의 한계를 극복하기 위해, 계면 기능이 분리된 이종접합 기반의 고감도 및 고속 DUV 이미지 센서를 개발하고, 최종적으로 어레이 집적 및 회로 연계가 가능한 실시간 DUV 이미지 센서 플랫폼을 구현하고자 한다. 이를 위해 이차원 가스, PN 접합, 분극 유도 기반 전하 분리 구조를 단계적으로 설계하고, 단일 소자 성능 확보부터 어레이 기반 실시간 이미지 구현까지 체계적으로 ...
1차년도에는 이종 접합 기반 단결정 박막 성장과 기능성 소재 확보를 목표로 한다. 먼저 PLD를 이용해 이종기판(Sapphire, Si, STO 등) 위에 고품질 단결정 Ga2O3 박막을 성장시키고 N형 도핑을 수행한다. Beta-Ga2O3는 결정학적 비정합으로 인해 in-plane 회전 도메인이 형성되기 쉬우므로, 기판 오프각을 활용한 step-flow ...
... 메커니즘을 체계적으로 규명하고, 향후 DUV 광센서 설계를 위한 소재-계면-소자 상관관계 데이터베이스로 활용될 수 있다. 또한 연구 수행 과정에서 도출되는 논문, 특허, 공정 조건 및 소자 ... 센서의 한계를 보완하는 이종접합 설계 전략으로 축적되어, 후속 원천기술 개발과 고성능 광센서 플랫폼 확장의 기반이 될 수 있다. 저전력 및 자가구동이 가능한 고감도 DUV 센서는 통신 모듈 및 ...