Development of AI-Based X-ray/CT Inspection System for TGV Defect Detection in Glass Substrates
지식서비스산업기술개발(R&D) · 서비스산업융합고도화
2026년
2410017013
산업통상부
한국산업기술기획평가원
이노메트리
김준업
15명
2026.01.01 ~ 2026.12.31
2025.08.01 ~ 2028.12.31
5억원
7.5억원
개발연구
중소기업
경기도 화성시
전기/전자 > 반도체장비 > 측정/검사장비
o AI 이미지 데이터 분석 기반 TGV 검사 시스템을 구성하고 상용화하여 산업에 적용- 도금 공정 이후 충진 여부에 대한 인라인 전수 X-Ray 검사- 불량 예상 홀에 대한 비파괴 정밀 측정을 위한 샘플링 3D CT 검사- 광학식 검사기와 검사 데이터 연동하여 TGV 품질 향상- Repair장비도 연동하여 TGV 수율 향상
... 디자인 컨셉 개발- 물리적 구성 요소를 고려한 디자인 구조 설계o AI 모델 성능 개선- 딥러닝 알고리즘 활용, 정확도 향상o X-Ray 장비 시스템 통합- 튜브, 디텍터, 정밀 스테이지 통합 및 시제품 제작 o AI 모델 고도화- AI 추론 자동화 검사 프로세스 구성o 최종 시제품 제작- 장비 하드웨어 및 소프트웨어 통합 제어 구현 테스트용 최종 시제품 제작
- 반도체 기술의 발전에 따라 다층구조 메모리 소자(HBM), 인쇄회로기판(PCB)대체의 유리기판 (TGV)등 전자제품의 구조가 점차 복잡해짐에 따라 산업용 X-ray / 3D CT 비파괴 검사의 중요성이 확대되고 있음.- TGV 기술을 활용한 반도체 이종접합 기술은 메모리의 집적을 통한 대용량 메모리 모듈 개발뿐만 아니라, 메모리와 마이크로프로세서의 집적...