Next-generation piezoelectric based motion sensor platform
시장선도를위한한국주도형K-Sensor기술개발(R&D) · 제조혁신기반구축
2026년
2410017933
산업통상부
한국산업기술기획평가원
나노종합기술원
정준택
7명
2026.01.01 ~ 2026.12.31
2022.04.01 ~ 2028.12.31
2.3억원
3.4억원
응용연구
기타
대전광역시 유성구
전기/전자 > 반도체 소자·회로 > MEMS 소자
... 목표]ㅇ 압전 기반 초음파 변환자 공정 플랫폼 개발[3차년도 목표]ㅇ 초음파 모션센서 제작 및 센서 평가 플랫폼 개발 [4차년도 목표]ㅇ 배열센서 모듈 제작 및 위치센서 검증[5차년도 목표]ㅇ 고성능 압전 소재 증착기술 및 공정 플랫폼 개발[6차년도 목표]ㅇ 신호처리 회로 및 기반 소프트웨어 개발[7차년도 목표]ㅇ 제조기반 제공 및 표준 제작 라이브러리 구축
[1차년도 개발내용]● AlN 소재ㅇ AlScN박막 기반 고성능 초음파 변환자 공정 플랫폼 개발ㅇ 고성능 배열 초음파 초음파 변환자 제작ㅇ 고성능 배열 모션 센서 측정 및 평가● PZT 소재 ㅇ 배열 센서 설계 기술 개발 ㅇ 배열 센서 패키징 공정 개발 ㅇ 배열 센서 제작 공정 플랫폼 개발 ㅇ 배열 센서 초음파 신호 처리기술 개발[2차년도 개발내용]● Al...
ㅇ AlN와 PZT는 대표적인 압전물질로 차세대 IoT센서와 5G 통신을 위한 필터, 공진자 개발에 활발히 쓰이고 있음ㅇ AlN과 PZT를 활용한 IoT센서와 5G통신시장의 크기가 매우 빠르게 커지고 있음에도 불구하고 국내에서는 관련 인프라와 공정플랫폼을 소유하고 있지 못한 상황임ㅇ 본 과제를 통하여 핵심 압전물질인 AlN과 PZT를 이용한 모션센서 공정플...