Development of next-generation energy, semiconductor demand-responsive long-life, and high-uniform Ni-Fe alloy electroplating technology
신산업대응차세대공통·핵심뿌리기술개발사업(R&D) · 신산업대응차세대공통·핵심뿌리기술개발
2026년
2410019833
산업통상부
한국산업기술기획평가원
한국생산기술연구원
오세권
8명
2026.07.01 ~ 2026.12.31
2026.07.01 ~ 2029.12.31
4억원
4.3억원
개발연구
출연연구소
충청남도 천안시
재료 > 열/표면처리 > 도금기술
o 10 um급 극미세 범프 barrier용 Ni-Fe 합금 공통 핵심기술 체계화 - 초미세 피치 구현을 위한 요구 특성 조사 - 고정밀 도금기술 구현을 위한 전처리 기술 현황 파악 및 전략 수립 - Ni-Fe 합금 도금 조성/두께 편차 최소화 공정기술 개발 상황 검토 ㅇ MW급 음이온교환막 수전해 스택 적용을 위한 500 cm2 이상 대면적...
ㅇ Ni/Fe 공급원, pH, 전류밀도 조건별 공석출 거동 및 도금층 물성 분석ㅇ 착화제·완충제·산화억제제 적용을 통한 조성 안정화 및 기초 DB 구축ㅇ 니켈 폼 전처리, 도금 침투성, 기공 내부 도금 난점 분석ㅇ 미세범프용 치수 정밀도, 계면 확산 차단 및 물성 요구특성 정리ㅇ Ni/Fe 농도비, pH, 전류밀도 및 첨가제 최적화를 통한 고균일·저결함 도...
... 과제를 통해 수전해 및 반도체용 기능성 도금 공정의 연구·생산·평가 인프라 구축이 가능함국내 최초 500 cm²급 AEM 수전해 전극 도금 양산 인프라 구축초미세 피치 반도체 패키징 평가·분석 플랫폼 구축실시간 데이터 기반 지능형 도금 공정 플랫폼 구축AST 기반 신뢰성 평가 표준 인프라 확보산·학·연 협력 기반 장비·공정 고도화 및 전문인력 양성 지원 가능함