Intelligent Testbed for Advanced Semiconductor Atomic Level Deposition & Etching Materials and Components
산업혁신기반구축(R&D) · 산업혁신기반구축
2026년
2410019827
산업통상부
한국산업기술진흥원
한국전자기술연구원
김형근
5명
2026.07.01 ~ 2026.12.31
2026.07.01 ~ 2030.12.31
10억원
17.1억원
기타
기타
경기도 성남시
전기/전자 > 반도체장비 > 반도체장비용 핵심부품/제조장비
국내 중소·중견 기업의 소재·부품 기술 경쟁력 향상 및 국가 반도체 산업 경쟁력 확보를 위한 지능형 원자층 레벨 증착·식각 장비 실증 플랫폼 기반 구축
[주관기관: 한국전자기술연구원]→ 원자층 레벨 증착·식각 실증 플랫폼 구축 및 운영1. (기반구축) 지능형 원자층 증착·식각 소재·부품 실증 플랫폼 구축① 300mm급 지능형 원자층 ... 구축② 원자층 증착·식각용 소재·부품의 기초성능·안정성 평가 인프라 구축③ 엣지 컴퓨팅 기반 데이터 통합분석 인프라 구축④ AI 기반 구축 장비 연계 지능형 소재·부품 실증 플랫폼 구축2. (기반운영) ...
... 고도화 기반 구축 - 실증 항목 패키지화 및 표준 양식 도입을 통한 접근성 제고 및 인프라 활용의 질적 고도화O AI 기반 공정 지능화 구현을 통한 소부장 초격차 기술 확보 - 실증 데이터와 AI 기반 분석을 통한 개발 리드타임 단축 및 공정 기술 신격차 창출에 기여O 통합 실증 네트워크 확산 및 글로벌 공급망 진입 가속화 - 실증 방법론의 범국가적 확산으로 자립화 생태계를 ...