AI-optics co-designed computational line-scan imaging platform for depth-enhanced, high-throughput inspection of large-area semiconductor and display panels
창업성장기술개발(R&D) · 창업성장기술개발사업(TIPS)
2026년
2420033443
중소벤처기업부
중소기업기술정보진흥원
주식회사 프로퓨지오
주철민
2명
2026.07.01 ~ 2026.12.31
2026.07.01 ~ 2028.06.30
2.2억원
3.0억원
개발연구
중소기업
서울특별시 서대문구
전기/전자 > 반도체장비 > 측정/검사장비
고단차 소자가 탑재된 대면적 반도체/디스플레이 기판 대상 10배 이상 향상된 심도에서 고속,고해상도 검사가 가능한, Line-Scan 산술 다중광학 영상 시스템 개발을 목표로 함. 본 창업기업이 독자적으로 보유하고 있는 광학물리-인공지능 기반 통합적 설계 기술을 활용하여, Line-Scan 영상 심도를 10배 이상 향상시킬 수 있는 이진 광위상 구조와 영상복원 ...
... 기반 통합적 설계를 통한 대면적 고속 고심도 Line-Scan 다중 영상 (명시야/형광) 시스템 개발 A. 세부 연구 목표 1: 광학물리-인공지능 융합 설계 기반 고심도 명시야/형광 산술 ... 고도화(1) 영역별 광수차 정보를 반영한 심도확장 광위상 구조와 영상복원 신경망 고도화(2) 고심도 Line-Scan 산술 다중 광학 검사 시스템 영상 능력 고도화와 영상 능력 정량적 평가
... 범위 확대와 3D/분광 측정 융합을 통한 산술 광학 영상 분야 학계/산업계 선도(2) 계측 / 검사 속도 향상 및 공정 효율 개선-고심도 산술 영상 장비로 창출되는 새로운 형태의 영상 정보를 기반으로 미세결함 검출/예측 등 다양한 검사 알고리즘 개발을 위한 Platform 제공-인공지능 분석 SW와 결합하여 미세 결함 검출 정확도와 속도 향상으로 검사 신뢰성 극대화 및 생산 병목 ...