Development of Ultra-Precision Air Bearing Gantry Stage for Semiconductor Digital Lithography Equipment
중소기업기술혁신개발(R&D) · ★중소기업기술혁신개발사업(중소기업유망기술개발)
2026년
2420034383
중소벤처기업부
중소기업기술정보진흥원
에어로시스템
김진우
4명
2026.09.01 ~ 2026.12.31
2026.09.01 ~ 2028.08.31
8,000만원
1.1억원
개발연구
중소기업
경기도 수원시
기계 > 로봇/자동화기계 > 조립/정밀 이송기술
본 과제는 반도체 디지털 노광기용 초정밀 공기베어링 겐트리 스테이지를 국산화 개발하여 수입대체 및 수출 상품화를 달성하는 것을 최종 목표로 한다.기존 스플릿 타입 스테이지는 Y축 중앙 단일 모터 구동 방식으로 YAW 에러가 구조적으로 발생하며, 대면적 기판 적용 시 X축 위치에 따라 Y방향 포지션 오차가 증가하는 근본적 한계가 있다. 350mm 스트로크 기준 ...
본 과제는 반도체 디지털 노광기용 초정밀 공기베어링 겐트리 스테이지 국산화를 위해 5대 핵심기술을 개발하며, 설계?제어?보정?검증이 연계된 통합 연구개발 체계로 수행한다.① YAW 에러 ... 엔코더 실시간 스위칭 기술 개발고속 구간(100nm급) ↔ 정밀 구간(1nm급) 실시간 자동 전환으로 고속 이송과 초정밀 위치제어를 동시에 구현한다.③ 액티브 제진 기반 반력제어 기술 개발액티브 ...
○ 기술적 효과겐트리 구조 YAW 에러 능동 보정(±0.5 arcsec) 기술 확보로 위치정밀도 ±1.0㎛ 달성Wedge 방식 A축(Leveling) 웨이퍼 표면 편차 실시간 보상(±2㎛) 원천기술 확보100nm/1nm급 듀얼 엔코더 스위칭 기술로 고속·정밀 구간별 최적 위치제어 구현액티브 제진 기반 반력제어로 In-position Stability ±10...