Development of a High-Efficiency(2,050m/h, 3.0kW) Screw Vacuum Pump Based on Proprietery Variable-Pitch Design for Semiconductor Manufacturing Processes
중소기업기술혁신개발(R&D) · ★중소기업기술혁신개발사업(중소기업유망기술개발)
2026년
2420033129
중소벤처기업부
중소기업기술정보진흥원
동진기업(주)
유상대
8명
2026.07.01 ~ 2026.12.31
2026.07.01 ~ 2028.06.30
1.2억원
1.6억원
개발연구
중소기업
광주광역시 광산구
전기/전자 > 반도체장비 > 반도체장비용 핵심부품/제조장비
... 적용) 고속/고온 운전 환경에서도 변형과 손상을 방지하기 위해 고강성 소재를 적용하여 펌프의 내구성 및 연속 운전 신뢰성을 확보. - 스마트 제어를 통한 초저전력 운전 구현: (제어 시스템) 스마트 인버터 제어 시스템을 탑재하여 공정 부하 변동에 따라 펌프 속도를 가변적으로 제어함으로써, 소비전력을 3.0 kW 이하로 획기적으로 낮추어 친환경 'Green Fab' 목표 달성에 직접적으로 ...
... 임펠러의 3D 설계를 진행하고, 유동 및 열 해석을 통해 고온/고진공 운전 시의 열 변형을 정밀 예측하여 최적의 미세 간극을 설계에 반영할 예정임.- 2단계 (핵심부품 제작 및 제어 시스템 구축): 고강성 소재 적용 및 독자 스크류 프로파일 정밀 가공 기술을 확보하여 핵심 부품을 제작하고, 스마트 인버터 기반의 가변 속도 제어 시스템을 구성하여 펌프의 운전 효율을 극대화할 ...
- 기술적 측면: 독자적인 가변피치 스크류 설계 및 고정밀 가공 기술 확보를 통해 국내 반도체 장비 부품 기술 경쟁력을 획기적으로 강화하고, 글로벌 선도 기업 수준의 기술력을 증명할 수 있음.- 경제/산업적 측면: 핵심 진공펌프의 국산화를 통해 수입 대체 효과 및 무역 적자 개선에 기여하고, 대외 기술 의존도를 낮춰 국가 공급망 안정화를 도모할 수 있음. ...