Development of an Edge AI-based Predictive and Optimal Control Platform for Semiconductor Gas Abatement Systems
창업성장기술개발(R&D) · 창업성장기술개발사업(디딤돌)
2026년
2420034023
중소벤처기업부
중소기업기술정보진흥원
주식회사 플루엑스
이광주
1명
2026.07.01 ~ 2026.12.31
2026.07.01 ~ 2027.12.31
6,650만원
8,875만원
개발연구
중소기업
경기도 오산시
수학 > 응용수학 > 인공지능수학/데이터사이언스수학
... 한계를 가진다. 기존의 PID 제어 및 룩업 테이블 방식은 비선형 공정 조건에서의 제어 정확도 저하와 신규 가스 도입 또는 설비 열화 시 반복적인 수동 재보정이 필요하다는 한계를 가지며, 클라우드 기반 AI 방식은 반도체 공정 데이터의 외부 반출 제한으로 인해 실질적인 적용이 어려운 제약이 존재한다. 본 과제의 최종 목표는 이러한 문제를 해결하기 위해 반도체 배기가스 처리 도메인에 ...
본 과제에서는 반도체 팹 내 배기가스 처리설비(스크러버)의 비효율적 운전 및 비선형 공정 대응 한계를 해결하기 위해 엣지 AI 기반 자동제어 플랫폼(ARIA)을 개발한다. 먼저 NDIR 및 FTIR 가스 분석기와 PLC로부터 전류, 전력, 온도, 가스 농도 등 다변량 실시간 데이터를 수집하고, Modbus RTU/TCP, OPC-UA 등 산업 표준 통신 프...
본 과제를 통해 개발되는 엣지 AI 기반 자동제어 플랫폼(ARIA)은 반도체 팹 내 배기가스 처리설비(스크러버)에 적용되어 SCR 전류를 실시간으로 최적화함으로써 처리효율을 안정적으로 유지하고 에너지 소비를 절감하는 효과를 제공한다. 이를 통해 기존 고정 전류 운영 방식 대비 배기가스 처리효율 95% 이상 유지, 에너지 사용량 15% 이상 절감이 가능하며,...