Development of an in-line hybrid inspection and virtual metrology-based system for non-visual defects (NVD) in semiconductors
투·융자연계기술개발(R&D) · 투·융자연계기술개발사업(글로벌 팁스_일반형)
2026년
2420033564
중소벤처기업부
중소기업기술정보진흥원
주식회사 코비스테크놀로지
김일광
22명
2026.07.01 ~ 2026.12.31
2026.07.01 ~ 2030.06.30
6.3억원
8.3억원
개발연구
중소기업
서울특별시 금천구
물리학 > 응집물질물리 > 반도체
... 솔루션 개발 및 글로벌 상용화○ NVD 복합 검출 기술 개발nvCPD(표면 전위차 기반 일함수 맵핑), DME(광학식 두께 측정), HSI(다파장 분광 분석) 3대 센서 통합전기·물리·화학 데이터 융합을 통한 검사 신뢰도 극대화마크로 프로브팁 ≤150μm, 마이크로 프로브팁 ≤30μm 해상도 구현○ 고속 인라인 자동화 시스템 개발나선형 스캔 + 이중 측정부/스테이지 구조로 처리량 40 ...
... 측정 재현성 정량 평가 및 목표값 달성처리량 40 WPH 이상, 48시간 연속 가동 안정성 95% 이상 확보○ AI 기반 가상계측(VM) 개발 및 실시간 피드백 연동전기·광학 다중 데이터 융합 기반 예측 모델 학습 및 초기 정밀도 검증공정 다변화 학습 데이터 확보 및 예측 오차 10% 이내 목표 달성실시간 자동 피드백 연동 및 SPC 자동 이상 감지·제어 체계 구축○ 파일럿 ...
... 양산 적용(FAB 라인 즉시 투입) → 글로벌 확장(해외 고객·사업화 전환) 단계적 추진○ R&D 결과물별 사업화 전략하이브리드 통합 검계측 장비: 외산 대체 12인치 NVD 복합 플랫폼 장비 공급 매출가상계측(VM) SW 패키지: AI NVD 가상계측 소프트웨어 라이선스·로열티 수익고감도 프로브 센서 모듈: 소모성 센서 자체 생산으로 안정적 유지보수 매출글로벌 거점 공략: ...