Semiconductor Cleaning Process-Oriented Development of an LHBS-Based Regenerative HeatDesiccant Integrated Dehumidification System
중소기업기술혁신개발(R&D) · ★중소기업기술혁신개발사업(중소기업유망기술개발)
2026년
2420033082
중소벤처기업부
중소기업기술정보진흥원
킹메이커
이돈구
7명
2026.07.01 ~ 2026.12.31
2026.07.01 ~ 2028.06.30
1.2억원
1.6억원
응용연구
중소기업
인천광역시 서구
기계 > 에너지/환경기계시스템 > 공기조화/냉동기계
LHBS 기반 저온 폐열 회수 기술과 데시칸트 제습 시스템을 통합한 재생패키지 기술을 개발하여, 반도체 세정 공정 건조 단계 및 클린룸과 같은 고습 환경에서도 안정적인 습도 제어와 에너지 효율 향상을 동시에 달성하는 것을 목표로 한다.
... 안정성 및 재현성 검증2) 데시칸트 재생 공기 생성 및 제어- LHBS 온수와 고온 히트펌프 연계로 60~120℃ 재생 공기 생성- 제습기 가동률 변화에 따른 부하 추종 제어로 재생 효율 극대화3) 폐열 재활용 연계- 데시칸트 재생 후 배출 습공기를 LHBS에 재도입하는 2차 잠열 회수 구조 구현- 폐열-재생-제습이 순환되는 통합 열·습도 제어 시스템 완성
본 기술은 반도체 및 배터리 등 고정밀 제조공정에서 요구되는 저습 환경을 안정적으로 유지할 수 있는 통합 제습 솔루션으로 활용 가능하며, 기존 전기히터 및 스팀 기반 재생 방식 대비 에너지 소비를 절감하고 운영 비용을 낮출 수 있다. 또한 폐열 기반 제습 기술을 통해 산업단지 및 공공시설의 에너지 효율 향상과 탄소 저감에 기여할 수 있으며, 데이터센터 및 ...